团队利用衍射光栅将 DUV 光分成两束相同的激光束,以略微不同的角度照射到材料表面,形成精确的正弦能量高低交替图案。这种干涉图案充当纳米级“光栅”,以受控方式暂时加热材料并产生局部能量变化。